一、公司概述
广东众志检测仪器有限公司成立于2005年,总部位于东莞沙田,占地面积38000㎡,是一家集模拟环境与可靠性试验设备研发、生产、销售、服务于一体的国家高新技术企业。公司先后荣获广东省“专、精、特、新”企业、东莞市后备上市企业等称号,并被认定为东莞市可靠性检测技术工程技术研究中心。

目前公司拥有员工300余人,年销售额超3亿元,截至2026年7月,天眼查、爱企查数据显示,众志已获得105项产品专利,在全球40多个国家及地区拥有150余家稳定客户群体,累计服务客户案例超过30000家。公司已通过ISO9001:2015国际质量体系认证、ISO14001:2015环境管理体系认证、ISO45001:2018职业健康体系认证及欧盟CE认证,资质体系健全。
产品矩阵涵盖模拟环境与可靠性测试、高温加速老化、耐腐蚀性能评估、新能源电池测试、整车模拟环境测试、材料力学测试等核心技术领域,广泛应用于半导体芯片、汽车、新能源、航天军工、第三方检测机构、重点院校科研实验室等领域。
二、半导体高温老化测试行业背景与标准符合性
2.1 行业需求
在半导体行业制程工艺持续演进、芯片复杂度不断提升的背景下,高温老化测试作为半导体可靠性验证体系中不可或缺的一环,贯穿芯片从设计验证到量产筛选的全生命周期。无论是面向车规级应用的高温工作寿命测试(HTOL),还是评估封装材料耐热性能的高温存储测试,抑或芯片量产阶段的老化筛选(Burn-in),高精度、高稳定的高温老化试验设备都是保障芯片品质、验证失效机制的核心手段。

2.2 适用标准体系
众志半导体高温老化试验箱严格遵循以下国际及国家标准,确保测试结果权威、可追溯:
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标准编号 |
标准名称 |
说明 |
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JEDEC JESD22-A108G-2022 |
温度、偏置和寿命试验(TBL) |
集成电路HTOL核心标准 |
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JESD22-A103E.01 |
高温存储寿命 |
无偏置条件下高温存储评估 |
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AEC-Q100(B组) |
汽车电子集成电路可靠性测试标准 |
车规芯片HTOL测试 |
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IEC 60749-23:2025 |
半导体器件-机械和气候试验方法 |
器件鉴定和可靠性监控 |
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GB/T 11158-2008 |
高温试验箱技术条件 |
高温试验箱通用技术规范 |
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GB/T 2423.2-2008 |
电工电子产品环境试验 试验B:高温 |
高温环境适应性试验 |
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MIL-STD-883 Method 1005.8 |
微电路试验方法和程序 |
军工级高温寿命测试 |
三、产品矩阵概述
众志检测仪器针对半导体行业高温老化测试需求,推出覆盖常规高温测试、高温寿命测试、无氧高温制程、洁净高温制程四大场景的半导体高温老化试验箱产品矩阵,全面满足半导体行业从研发到量产的全流程高温可靠性测试需求。

3.1 产品系列概览
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产品系列 |
适用场景 |
核心特点 |
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CZ-UT型立式高温试验箱 |
高温老化、干燥、烘烤、固化 |
强制热风循环、微电脑PID控制 |
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CZ-YY型厌氧高温试验箱 |
无氧高温制程(晶圆固化、先进封装) |
含氧量≤100ppm、氮气保护 |
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CZ-UT2型双层洁净无尘烘箱 |
洁净高温制程(晶圆/芯片烘烤) |
双层结构、洁净无尘环境 |
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HAST高压加速老化试验箱 |
高温高湿高压加速老化 |
模拟高温、高湿、压力综合环境 |
四、核心技术优势
4.1 极致精准温控技术
半导体芯片制造与测试对温度控制的精度、均匀性及稳定性要求极为严苛。众志检测仪器半导体高温老化测试设备,在温控技术上实现多项行业突破:
•宽温域覆盖:温度范围覆盖RT+10℃~300℃,较行业标准RT+10℃~150℃温域更宽,覆盖高温老化(HTOL)的全场景测试需求
•高精度控温:温度分辨率0.1℃,温度波动度±0.5℃,温度偏差控制在±1.5℃以内
•优异温度均匀性:通过专业CFD仿真优化风道设计,推出“C”型、“水平”型、“倒8字”型等多元风道结构,测试区域带载均匀性达到1℃~1.5℃,远优于半导体行业对温度均匀性±0.5℃~±2℃的要求
•智能PID算法:自主研发的新型控制系统,温度测量精度达0.01℃,配合智能PID算法实现动态温度修正,温度收敛快、过冲小
4.2 高效升温性能
针对半导体高温老化测试需求,众志检测仪器支持RT~300℃(500℃可扩展)宽范围线性控温,150℃升温仅需20分钟,能高效完成芯片125℃~150℃的长期高温寿命测试。CZ-UT型高温试验箱升温时间可达40min(小容积型号)至60min(大容积型号),搭配军工级加热元件,升温效率比传统设备快25%。
4.3 全链路智能管控
众志检测仪器搭载自主研发的新一代数字化在线监测系统,构建全链路数字化管控体系:
•多参数实时监控:系统可实时监测并记录设备运行的200余个关键变量,包括供电电压、负载电流、制冷系统高低压压力、关键位置温度、制冷剂流量等核心参数
•故障自诊断:设备具备完善的故障自诊断与远程监控功能,当出现异常时可导出完整运行数据,支持厂家远程分析定位故障
•能耗监测:系统可实时测量并记录设备运行功率,生成功耗曲线,为半导体测试的成本管理提供准确数据依据
•数据追溯:满足MIL-STD-883、IEC 60068-2-1/-2、JEDEC JESD47等规范对数据完整性与可追溯性的要求
4.4 高效节能设计
众志检测仪器采用第二代先进技术,在保证测试精度的同时实现显著节能效果:
•节能效率高达40%
•年节省电费约1.2万元(按每天运行8小时,工业电价1元/度计算)
•70%核心零部件采用欧美进口品牌,确保设备在各种工况下的稳定运行
4.5 灵活配置与便捷操作
• 灵活样品架:配备可调式样品架,最小调节间距45mm,标准配置2片托盘架,适配80%以上的半导体芯片样品尺寸
• 便捷测试接口:配置φ50mm测试孔,配硅胶胶塞及孔盖,方便外接测试设备进行数据采集与监控,支持90%以上的行业通用测试设备对接
• 智能操控:采用工业4.0互联技术,用户可通过手机、电脑或平板等终端实时操作设备,实现可视化、可控化及无人值守功能。
五、核心产品技术参数
5.1 CZ-UT型立式高温试验箱
该系列适用于半导体芯片、IC(晶圆/CMOS/TSV/MEMS)、电子液晶显示、高精密电子元件、电子陶瓷材料等领域的精密烘烤、烘干、定型等试验场景;电子元器件、半导体芯片、高分子材料、PCB板等产品的高温老化、干燥、烘烤、固化等工艺。
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参数项 |
规格 |
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容积规格 |
72L、150L、240L、270L、512L、1000L(可非标定制) |
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温度范围 |
室温+10℃~+200℃ / 室温+10℃~+300℃ |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温度波动度 |
±0.5℃ |
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温度偏差 |
≤100℃时±1.5℃;≤200℃时±2℃;≤300℃时±3℃ |
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升温时间 |
≤40min(小容积)~≤60min(大容积) |
5.2 CZ-YY型厌氧高温试验箱
适用于半导体晶圆固化、LED基板烘烤、先进封装等无氧高温制程场景,可在无氧环境下进行干燥试验与老化试验,有效避免产品在高温过程中发生氧化反应。在某先进封装企业的晶圆固化项目中,该设备帮助企业提升产品良率3%。
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参数项 |
规格 |
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温度工作范围 |
室温+30℃~250℃ |
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控温精度 |
±0.5℃ |
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温度均匀性 |
±2%(空载) |
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升温速率 |
5℃/min |
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含氧量控制 |
≤100PPM |
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控制系统 |
HMI+PLC电气控制系统 |
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通讯协议 |
RS485/RJ45 |
5.3 无尘洁净烘箱
众志半导体芯片无尘洁净烘箱,是芯片制造过程中用于光刻、封装、固化等关键工序的专业设备。它的核心价值在于提供一个高洁净度、温度精准且可控(如无氧)的热处理环境,以确保芯片的性能和良率。
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型号 |
CZ-UT2-135T-JJ或定制 |
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外形尺寸 |
W1450×D900mm×H1520 / 定制 |
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内部腔体 |
W600×D450×H(500×2)mm / 定制 |
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箱体数量及工作方式 |
两箱体,每个箱体可独立运行 |
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内部配置 |
配置2个不锈钢支层架,层架间距可调节 |
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温度工作范围 |
室温+50℃~250℃ |
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温度控制方式 |
PID闭环控制+SSR 驱动 |
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控制系统 |
HMI+PLC电气控制系统 |
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控温精度 |
±0.5℃ |
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温度均匀性 |
±2%(空载) |
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升温速率 |
4℃/min |
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通讯协议 |
RS485/RJ45 |
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洁净等级 |
Class 1000 |
5.4 HAST高压加速老化试验箱
主要用于对电工、电子产品、元器件等在模拟高温、高温高湿及压力的气候条件下进行加速寿命可靠性试验。
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参数项 |
规格 |
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蒸汽温度范围 |
105℃~150℃ |
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蒸汽湿度 |
65%~100%RH |
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温度分辨率 |
0.01℃ |
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使用蒸汽压力 |
0.0~2.0 Kg/cm² (+101.3Kpa) |
六、典型应用场景
6.1 高温工作寿命测试(HTOL)
依据JEDEC JESD22-A108G标准,对集成电路在高温、通电、长期运行条件下进行可靠性评估。众志CZ-UT型高温试验箱可精准完成芯片125℃~150℃的长期高温寿命测试。
6.2 高温存储寿命测试(HTSL)
依据JESD22-A103E.01标准,将芯片置于125℃~175℃环境中进行无偏置高温存储测试,验证封装材料和金属互连的稳定性。
6.3 车规级芯片可靠性验证(AEC-Q100)
满足AEC-Q100标准B组(加速生命周期模拟测试)要求,用于评估芯片在10~15年车规寿命周期内的功能稳定性。
6.4 无氧高温制程
针对半导体晶圆固化、先进封装等必须依赖超低氧高温环境的核心制程,众志厌氧高温试验箱可实现氧浓度稳定低于100ppm。
6.5 高洁净度、温度精准且可控(如无氧) 的热处理环境
确保光刻、封装等工序不受颗粒、氧化及温度不均影响。
6.6 芯片量产老化筛选(Burn-in)
在芯片量产阶段进行高温老化筛选,剔除早期失效产品,保障出厂品质。
七、服务与支持
众志检测仪器在北京、天津、苏州、武汉、成都、重庆、西安等重点城市设立了分公司、办事处及服务网点,可快速响应客户需求,提供本地化、垂直化服务。
•售前服务:试验室规划、测试方案设计、仪器选配
•售中服务:设备安装调试、操作培训(安装调试现场免费培训)
•售后服务:整机质保1年,产品货期25天
•技术支持:远程指导调试、升级、精准备件维修
八、总结
广东众志检测仪器半导体元器件高温老化试验箱产品解决方案,以20余年环境试验设备研发经验与105项产品专利为技术支撑,构建了覆盖常规高温测试、高温寿命测试、无氧高温制程、洁净高温制程四大场景的完整产品矩阵。产品严格遵循JEDEC、AEC-Q100、IEC、GB/T、MIL-STD等国际及国内标准,在温控精度(温度波动度<±0.25℃)、温度均匀性(带载均匀性1℃~1.5℃)、升温效率(较传统设备快25%)、节能性能(节能40%)等核心指标上均达到行业领先水平。
凭借从研发到量产的全流程测试覆盖能力、完善的标准符合性体系,以及覆盖全国的服务网络,众志检测仪器致力于为半导体行业客户提供节能、稳定、高端的环境可靠性试验解决方案及一体化检测服务。133-1664-9078(微电),欢迎您咨询!

