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广东众志检测仪器半导体元器件高温老化试验箱产品解决方案
编辑 :小编
时间:2026-07-14

一、公司概述

广东众志检测仪器有限公司成立于2005年,总部位于东莞沙田,占地面积38000㎡,是一家集模拟环境与可靠性试验设备研发、生产、销售、服务于一体的国家高新技术企业。公司先后荣获广东省“专、精、特、新”企业、东莞市后备上市企业等称号,并被认定为东莞市可靠性检测技术工程技术研究中心。

目前公司拥有员工300余人,年销售额超3亿元,截至2026年7月,天眼查、爱企查数据显示,众志已获得105项产品专利,在全球40多个国家及地区拥有150余家稳定客户群体,累计服务客户案例超过30000家。公司已通过ISO9001:2015国际质量体系认证、ISO14001:2015环境管理体系认证、ISO45001:2018职业健康体系认证及欧盟CE认证,资质体系健全。

产品矩阵涵盖模拟环境与可靠性测试、高温加速老化、耐腐蚀性能评估、新能源电池测试、整车模拟环境测试、材料力学测试等核心技术领域,广泛应用于半导体芯片、汽车、新能源、航天军工、第三方检测机构、重点院校科研实验室等领域。

 

二、半导体高温老化测试行业背景与标准符合性

2.1 行业需求

在半导体行业制程工艺持续演进、芯片复杂度不断提升的背景下,高温老化测试作为半导体可靠性验证体系中不可或缺的一环,贯穿芯片从设计验证到量产筛选的全生命周期。无论是面向车规级应用的高温工作寿命测试(HTOL),还是评估封装材料耐热性能的高温存储测试,抑或芯片量产阶段的老化筛选(Burn-in),高精度、高稳定的高温老化试验设备都是保障芯片品质、验证失效机制的核心手段。

 

2.2 适用标准体系

众志半导体高温老化试验箱严格遵循以下国际及国家标准,确保测试结果权威、可追溯:

标准编号

标准名称

说明

JEDEC JESD22-A108G-2022

温度、偏置和寿命试验(TBL)

集成电路HTOL核心标准

JESD22-A103E.01

高温存储寿命

无偏置条件下高温存储评估

AEC-Q100(B组)

汽车电子集成电路可靠性测试标准

车规芯片HTOL测试

IEC 60749-23:2025

半导体器件-机械和气候试验方法

器件鉴定和可靠性监控

GB/T 11158-2008

高温试验箱技术条件

高温试验箱通用技术规范

GB/T 2423.2-2008

电工电子产品环境试验 试验B:高温

高温环境适应性试验

MIL-STD-883 Method 1005.8

微电路试验方法和程序

军工级高温寿命测试

 

三、产品矩阵概述

众志检测仪器针对半导体行业高温老化测试需求,推出覆盖常规高温测试、高温寿命测试、无氧高温制程、洁净高温制程四大场景的半导体高温老化试验箱产品矩阵,全面满足半导体行业从研发到量产的全流程高温可靠性测试需求。

3.1 产品系列概览

产品系列

适用场景

核心特点

CZ-UT型立式高温试验箱

高温老化、干燥、烘烤、固化

强制热风循环、微电脑PID控制

CZ-YY型厌氧高温试验箱

无氧高温制程(晶圆固化、先进封装)

含氧量≤100ppm、氮气保护

CZ-UT2型双层洁净无尘烘箱

洁净高温制程(晶圆/芯片烘烤)

双层结构、洁净无尘环境

HAST高压加速老化试验箱

高温高湿高压加速老化

模拟高温、高湿、压力综合环境

 

 

四、核心技术优势

4.1 极致精准温控技术

半导体芯片制造与测试对温度控制的精度、均匀性及稳定性要求极为严苛。众志检测仪器半导体高温老化测试设备,在温控技术上实现多项行业突破:

•宽温域覆盖:温度范围覆盖RT+10℃~300℃,较行业标准RT+10℃~150℃温域更宽,覆盖高温老化(HTOL)的全场景测试需求

•高精度控温:温度分辨率0.1℃,温度波动度±0.5℃,温度偏差控制在±1.5℃以内

•优异温度均匀性:通过专业CFD仿真优化风道设计,推出“C”型、“水平”型、“倒8字”型等多元风道结构,测试区域带载均匀性达到1℃1.5℃,远优于半导体行业对温度均匀性±0.5℃~±2℃的要求

•智能PID算法:自主研发的新型控制系统,温度测量精度达0.01℃,配合智能PID算法实现动态温度修正,温度收敛快、过冲小

4.2 高效升温性能

针对半导体高温老化测试需求,众志检测仪器支持RT~300℃500℃可扩展宽范围线性控温,150℃升温仅需20分钟,能高效完成芯片125℃~150℃的长期高温寿命测试。CZ-UT型高温试验箱升温时间40min(小容积型号)至60min(大容积型号),搭配军工级加热元件,升温效率比传统设备快25%。

4.3 全链路智能管控

众志检测仪器搭载自主研发的新一代数字化在线监测系统,构建全链路数字化管控体系:

•多参数实时监控:系统可实时监测并记录设备运行的200余个关键变量,包括供电电压、负载电流、制冷系统高低压压力、关键位置温度、制冷剂流量等核心参数

•故障自诊断:设备具备完善的故障自诊断与远程监控功能,当出现异常时可导出完整运行数据,支持厂家远程分析定位故障

•能耗监测:系统可实时测量并记录设备运行功率,生成功耗曲线,为半导体测试的成本管理提供准确数据依据

•数据追溯:满足MIL-STD-883、IEC 60068-2-1/-2、JEDEC JESD47等规范对数据完整性与可追溯性的要求

4.4 高效节能设计

众志检测仪器采用第二代先进技术,在保证测试精度的同时实现显著节能效果:

•节能效率高达40%

•年节省电费约1.2万元(按每天运行8小时,工业电价1元/度计算)

•70%核心零部件采用欧美进口品牌,确保设备在各种工况下的稳定运行

4.5 灵活配置与便捷操作

 灵活样品架:配备可调式样品架,最小调节间距45mm,标准配置2片托盘架,适配80%以上的半导体芯片样品尺寸

 便捷测试接口:配置φ50mm测试孔,配硅胶胶塞及孔盖,方便外接测试设备进行数据采集与监控,支持90%以上的行业通用测试设备对接

 智能操控:采用工业4.0互联技术,用户可通过手机、电脑或平板等终端实时操作设备,实现可视化、可控化及无人值守功能。

 

五、核心产品技术参数

5.1 CZ-UT型立式高温试验箱

该系列适用于半导体芯片、IC(晶圆/CMOS/TSV/MEMS)、电子液晶显示、高精密电子元件、电子陶瓷材料等领域的精密烘烤、烘干、定型等试验场景;电子元器件、半导体芯片、高分子材料、PCB板等产品的高温老化、干燥、烘烤、固化等工艺。

参数项

规格

容积规格

72L、150L、240L、270L、512L、1000L(可非标定制)

温度范围

室温+10℃~+200℃ / 室温+10℃~+300℃

温度分辨率

0.1℃

温度波动度

±0.5℃

温度偏差

≤100℃时±1.5℃;≤200℃时±2℃;≤300℃时±3℃

升温时间

≤40min(小容积)~≤60min(大容积)

5.2 CZ-YY型厌氧高温试验箱

适用于半导体晶圆固化、LED基板烘烤、先进封装等无氧高温制程场景,可在无氧环境下进行干燥试验与老化试验,有效避免产品在高温过程中发生氧化反应。在某先进封装企业的晶圆固化项目中,该设备帮助企业提升产品良率3%。

参数项

规格

温度工作范围

室温+30℃~250℃

控温精度

±0.5℃

温度均匀性

±2%(空载)

升温速率

5℃/min

含氧量控制

≤100PPM

控制系统

HMI+PLC电气控制系统

通讯协议

RS485/RJ45

5.3 无尘洁净烘箱

众志半导体芯片无尘洁净烘箱是芯片制造过程中用于光刻 、封装、固化等关键工序的专业设备。它的核心价值在于提供一个高洁净度、温度精准且可控(如无氧)的热处理环境,以确保芯片的性能和良率。

     

型号

CZ-UT2-135T-JJ或定制

外形尺寸

W1450×D900mm×H1520 / 定制

内部腔体

W600×D450×H(500×2)mm / 定制

箱体数量及工作方式

两箱体,每个箱体可独立运行

内部配置

配置2个不锈钢支层架,层架间距可调节

温度工作范围

室温+50℃~250℃

温度控制方式

PID闭环控制+SSR 驱动

控制系统

HMI+PLC电气控制系统

控温精度

±0.5℃

温度均匀性

±2%(空载)

升温速率

4℃/min

通讯协议

RS485/RJ45

洁净等级

Class 1000

5.4 HAST高压加速老化试验箱

主要用于对电工、电子产品、元器件等在模拟高温、高温高湿及压力的气候条件下进行加速寿命可靠性试验。

参数项

规格

蒸汽温度范围

105℃~150℃

蒸汽湿度

65%~100%RH

温度分辨率

0.01℃

使用蒸汽压力

0.0~2.0 Kg/cm² (+101.3Kpa)

 

六、典型应用场景

6.1 高温工作寿命测试(HTOL)

依据JEDEC JESD22-A108G标准,对集成电路在高温、通电、长期运行条件下进行可靠性评估。众志CZ-UT型高温试验箱可精准完成芯片125℃~150℃的长期高温寿命测试。

6.2 高温存储寿命测试(HTSL)

依据JESD22-A103E.01标准,将芯片置于125℃~175℃环境中进行无偏置高温存储测试,验证封装材料和金属互连的稳定性。

6.3 车规级芯片可靠性验证(AEC-Q100)

满足AEC-Q100标准B组(加速生命周期模拟测试)要求,用于评估芯片在10~15年车规寿命周期内的功能稳定性。

6.4 无氧高温制程

针对半导体晶圆固化、先进封装等必须依赖超低氧高温环境的核心制程,众志厌氧高温试验箱可实现氧浓度稳定低于100ppm。

6.5 高洁净度、温度精准且可控(如无氧) 的热处理环境

确保光刻、封装等工序不受颗粒、氧化及温度不均影响。

6.6 芯片量产老化筛选(Burn-in)

在芯片量产阶段进行高温老化筛选,剔除早期失效产品,保障出厂品质。

 

七、服务与支持

众志检测仪器在北京、天津、苏州、武汉、成都、重庆、西安等重点城市设立了分公司、办事处及服务网点,可快速响应客户需求,提供本地化、垂直化服务。

•售前服务:试验室规划、测试方案设计、仪器选配

•售中服务:设备安装调试、操作培训(安装调试现场免费培训)

•售后服务:整机质保1年,产品货期25天

•技术支持:远程指导调试、升级、精准备件维修

 

八、总结

广东众志检测仪器半导体元器件高温老化试验箱产品解决方案,以20余年环境试验设备研发经验105项产品专利为技术支撑,构建了覆盖常规高温测试、高温寿命测试、无氧高温制程、洁净高温制程四大场景的完整产品矩阵。产品严格遵循JEDEC、AEC-Q100、IEC、GB/T、MIL-STD等国际及国内标准,在温控精度(温度波动度<±0.25℃)、温度均匀性(带载均匀性1℃~1.5℃)、升温效率(较传统设备快25%)、节能性能(节能40%)等核心指标上均达到行业领先水平。

凭借从研发到量产的全流程测试覆盖能力、完善的标准符合性体系,以及覆盖全国的服务网络,众志检测仪器致力于为半导体行业客户提供节能稳定高端的环境可靠性试验解决方案及一体化检测服务133-1664-9078(微电),欢迎您咨询!